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層流罩
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層流罩

潔凈層流罩是將空氣以一定地風速通過高效過濾器后，形成均流層，使?jié)崈艨諝獬蚀怪眴蜗蛄?，從而保證了工作區(qū)內(nèi)達到工藝要求的高潔凈度。它主要由箱體、風機、高效空氣過濾器、阻尼層、燈具等組成。層流罩從潔凈室吸取的空氣，然后采用頂部增壓艙里安裝的風扇通過HEPA過濾垂直穿過操作區(qū)域，為關鍵區(qū)域提供ISO 5（級別100）的單向流空氣


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